PARKER派克直线电机的应用

      派克直线电机的优点是：结构简单、反应速度快、灵敏度高、随动性好、密封性好、不怕污染、适应性强、工作稳定可靠、寿命长。但是直线电机又分两种：一种是无铁芯直线电机、另一种是有铁芯直线电机（铁芯直线电机），这两种直线电机都各有优势。
无铁芯直线电机优势：
★没有吸引力 ──平衡的双重磁轨，安全且易于处理，安装时不需要处理吸引力
★没有齿槽效应──无铁芯动子，没有齿槽效应，运行极度平滑
★低重量动子──没有铁芯意味着更高的加速度及减速度，更高的机械带宽
★固定气隙──易于对齐及安装
与铁芯直线电机相比的劣势：
★散热方面──更高的热敏电阻，工字型结构设计缓解这一问题
★同铁芯设计相比，更低的RMS功率
★要使用两倍量的磁铁，增加了单位成本

、有铁芯直线电机优势：
★每一尺寸更高的动力──使用叠片结构来集中磁通量
★更低的成本──开放界面设计只使用单排磁铁
★叠片结构及大的表面面积确保良好的散热
与无铁芯直线电机相比的劣势：
★正常吸引力──5到13倍于所产生的推力
★齿槽效应──限制运动的平滑性，产生速度波动。使用防齿槽技术能有效抵消齿槽效应

派克直线电机应用举例：

案例一：CVD ( 化学气相沉积) ，用于LCD, OLED 和太阳能板真空沉积膜

案例二：VAS ( 真空安装系统) ，用于AMOLED 封装过程

案例三：XY 平台，用于半导体考虑真空条件下直线电机应用

★真空度
   ●Parker 无铁芯直线电机采用标准选项-V后可以适用于10 ^ -6 Torr 环境
★排气孔
   ●线圈上的安装孔直接钻穿以消除盲孔
   ●线圈的装饰性喷涂和修复被省略以防止可能的气泡
   ●磁轨上也钻有排气孔以消除可能的气泡
★清洁Cleaning
   ●对所有器件的特殊清洁和操作以消除任何杂物
   ●特殊的包装用来避免运输过程的杂物
★在真空环境下特殊的选型计算
   ●因为真空环境下没有任何对流冷却，需要特殊选型和计算

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